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 | 公司基本資料信息 
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LF420-S模擬型氣體質(zhì)量流量控制器/流量計
 精度高
  精度高
 穩(wěn)定性好
  穩(wěn)定性好
模擬電路
 響應(yīng)速度快
  響應(yīng)速度快
LF420-S模擬型氣體質(zhì)量流量控制器/流量計產(chǎn)品用途:
| 產(chǎn)品型號 | LF420-SC | LF420-SM | 
| 滿量程范圍 | SCCM 0~5,10,20,30,50,100,200,500 SLM 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
| 量程比 | 控制器50:1 | 流量計100:1 | 
| 精度 | ±1.0%F.S | |
| 線性 | ±0.5%F.S | |
| 重復(fù)性 | ±0.2%F.S | |
| 閥門類型 | 常閉閥 | |
| 響應(yīng)時間 | ≤1S-3S | |
| 工作壓差 | 0.1...0.5Mpa | |
| 最大耐壓 | 3MPa | |
| 工作環(huán)境溫度 | 5...45℃ | |
| 泄漏率 | 1×10-8Pa.m3/s | |
| 通信信號 | 0-5V / 4-20MA | |
| 供電方式 | 24VDC(250mA) | |
| 密封材料 | 丁晴橡膠 氟橡膠(可選) | |
| 接頭尺寸 | 3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8” | |
| 電器接頭 | DB9針 | |