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日期:2021-10-16     播放:638    評論:0    
 高精度光學(xué)測量儀 MarSurf WM 100 有亞納米級分辨率和測量精度。3D 白光干涉儀測量系統(tǒng)。

亞納米分辨率和測量度下有高精度
適合所有光學(xué)和反射表面、精細技術(shù)表面和電路板、半導(dǎo)體產(chǎn)品和生物組織表面
2D 表面分析和測量評估
地形學(xué) 3D 表面分析和測量評估
快速測量 #96 短測量時間
在 4 個軸上手動定位工作臺和物體
多種鏡頭選擇,可根據(jù)測量對象進行調(diào)整
采用花崗石底座的穩(wěn)固型設(shè)計
基于 MountainsMap© 的評估軟件

測量原則
使用干涉儀,白光干涉儀
光源 (WLI):高功率 LED,505 nm

測量范圍 mm
傳感器裝置在 Z 方向可手動移動 200 mm
載物臺在 X 和 Y 方向可手動移動

干涉儀,白光干涉儀:
測量范圍(WLI):高 100 µm(垂直)
接口      230 V, 50 Hz

機器建造
所有類型純金屬表面(打磨,軋制等),以及激光結(jié)構(gòu)表面、細陶瓷和塑料表面、鑄模表面

醫(yī)療
植入體、假肢和儀器的金屬、陶瓷和塑料表面

電子
涂層表面分析,電子和半導(dǎo)體組件的測量和分析

光學(xué)
各種光學(xué)組件(所有材料)的粗糙度分析

CT 120 雙軸傾斜工作臺

設(shè)置工作臺角 +/- 30°

標準套件

白光干涉儀:
WLI 物鏡 2.5x0.075;  5x0.13; 10x0.3;  20x0.4; 50x0.55;  100x0.7

可選:
配備減震器來為納米和亞納米范圍測量優(yōu)化減震

傳感器系統(tǒng),包含:
WLI 傳感頭
相機,768 x 582 像素,高 48 圖像/秒
100 µm Z 軸,帶壓電驅(qū)動
WLI 軟件模塊,"Inspector" 軟件
花崗石底座和立柱,配有手動定位傳感器系統(tǒng)
手動 XY 載物臺用于測頭定位
20x0.4 DI 鏡頭(白光干涉儀)

干涉儀一直被用于測量表面形狀的高精度工具,或者用于量塊校準。馬爾提供菲索干涉儀和白光干涉儀,其中白光干涉儀可以達到0.1納米的超高分辨率,用來測量超高精度3D表面粗糙度。

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